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반도체환경기술의 국내외 최근동향 및 향후 기술개발방향

 

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Ⅰ. 서론

 

Ⅱ. 세부 기술분야

1. Phase-I PFC방출량 저감분야

2. Phase-II 유해chemical 저감 및 관리분야

 

Ⅲ. 향후 기술개발방향

 

Ⅳ. 결론

Ⅰ. 서론

 

우리나라 반도체산업은 2000년도 기준으로 248억불을 생산하여 235억불을 수출하는 수출주도형의 주요 국가기간 산업으로 매년 20% 이상의 고속성장을 하며 국가경제를 이끌어 가는 첨단기술의 총집합체로 잘 알려져 있다. 하지만 첨단기술로 만들어지는 반도체제조 공정과 발생되는 물질을 분석하여 보면 상당히 많은 환경저해요소를 지니고 있다. 반도체 제조공정을 살펴보면 수많은 종류의 독성가스와 화공약품 및 다량의 용수 가 사용되며 이로 인하여 폐수 및 폐기물이 다량 발생되고 있는 것이다. 지구환경보호 차원에서 보면 반도체 제조공정에서 나오는 환경유해물질의 사용량 감소를 위한 근본적인 대책마련 및 사후처리와 폐기물에 대한 철저한 관리 및 환경 친화적인 기술개발이 매우 중요하다고 할 수 있다.

국내의 반도체 생산기술은 선진기술과 우위를 다투고 있는 반면 반도체 산업의 근본이 되는 소재, 시약, 가스등의 반도체 재료기술과 핵심부품 등의 반도체 장비기술 및 환경처리기술은 매우 낙후되어있고 아직도 많은 부분이 해외 의존적이다. 반도체 제조공정에서 많이 사용되는 PFC와 유해 chemical의 사용 규제가 점점 강화됨에 따라 배출량을 기준으로 사용량 제한을 받게 될 전망이며 한정된 양의 chemical과 Gas를 효율적으로 사용하기 위해서는 PFC나 유해 chemical을 사용하는 반도체장비의 개량과 교체, 방출된 PFC나 VOC의 포집 및 재활용, PFC나 유해 chemical 대체화합물 사용 등의 기술이 필요해진다. 실제로 반도체산업에서 환경유해물질 방출은 지구온난화 및 환경오염에 상당한 영향을 주고 있고 이에 대응하는 기술개발이 미국등 선진국에서 활발히 진행되고 있으나, 국내업체는 국제적 환경안전 규제동향 정보취득에 취약하며 대처능력이 수동적인 실정이다. 최근에 관심을 모으고 있는 지구온난화의 주원인 인 PFC 방출량 감소를 위하여 국내반도체업계에서는 1997년도 기준 2010 년까지 PFC사용량을 10% 감축하기로 세계반도체산업협회(WSC)에서 합의하였다.

 

 

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